第594章【紫星光刻，准备曝光它吧】（2/4）

罗晟从内部数据库查看了一下，自顾自地点头道：“干式光刻胶技术可以重点投入，这种全新的euv干式光刻胶技术，取代传统的car光刻胶对于半导体工艺的演进大有可为，可能会是一个巨大的突破点。”

这个新技术的优势在于提升极紫外光刻技术的敏锐度和分辨率，更可以减少原本五到十倍的光刻胶使用量，在成本节约上带来显著成果。

新的技术节点下诞生的芯片，成本是很高昂的，尤其是前期阶段。

在当下业内以有机化学放大光刻胶car和无机光刻胶n-car为主导下，都是采用液态光刻胶技术，研究新型euv光刻胶技术不只是蔚蓝海岸实验室，海外的厂商都在积极推进新技术的开发，毕竟极紫外光刻技术是大趋势，这是不会改变的事实了。

但只有蔚蓝海岸实验室的新型euv光刻胶技术是基于干式沉淀的技术，这一点算是独创技术。

目前主流的光刻胶技术是car，也即是把液态光刻胶搭配涂布机设备旋涂到晶圆上，在使用溶剂曝光后再去除掉。

而蔚蓝海岸实验室的这种新式技术有别于传统液态光刻胶涂布方式，改在腔体中进行化学反应，让干式光刻胶在化学气相沉积或原子层沉积里制造，之后再以刻蚀工艺去除掉。

这样的优点在于可以提升成像的敏感度、分辨率和极紫外光刻曝光的分辨率。

更重要的是可以改善工艺晶圆的成本，这些优势都是更先进的工艺的体现。

罗晟关闭数据面板，把工作电脑放一边，说道：“只要干式光刻胶技术搞定了，我们就可以与日本设备材料产生形成两个阵营了，可以冲破既有的半导体技术规则，这非常关键，整个产业也会带来深远的改变。没什么好说的了，我们已经投入了这么多，除了胜利，没有第二条路可以选择。”

在场的每一个人都默默的点头，也是战意勃发，眼下的突破给了团队巨大的信心。

的确是除了胜利，没有第二条路可以选择了，也相信必然取得胜利。

临时的会议探讨结束了，罗晟亲自拍板给蔚蓝海岸实验的光刻胶项目组再额外拨款了亿元人民币，加快研发进度，多线并行。

离开蔚蓝海岸实验室，半小时后罗晟把姚建鸿叫到了他的办公室。

“紫星光刻机该问世了，一旦正式曝光出去不单单是国产集成电路领域会掀起滔天波澜，全球集成电路产业都会掀起剧烈的震荡，行业格局进入重新洗牌的局面，业内局势动荡是必然的。”

罗晟互摸着手指如是说道，顿了片刻又说：“光刻设备的突破自然是前所未有的胜利，但对于整个半导体产业链来说，高端区我们还是没有打通，60%的技术环节仍然受制于人，但蔚蓝海岸的产品线不能断，简而言之我们还是需要外国的芯片供应一段时间。”